1、場地：地面平整，不易起灰塵，遠離振動源，遠離強電磁干擾

2、環境：保持環境溫度0～45度，相對濕度20～60%，空氣潔凈度：不低于30萬級（ISO Class 8）

3、供電

3.1、單機單獨供電，三相五線（380V50Hz）容量10 kW

3.2、如果電網電壓不穩或偏低，建議配備凈化穩壓電源

3.3、就近的接大地保護端子

3.4、安裝漏電保護開關

4、氣體氣路

   4.1、氣源要求，冷凍干燥壓縮空氣

    1、壓力≥0.6MPa

    2、流量≥100L/min

    3、塵埃顆粒≤1um

    4、水壓露點≤-40℃

       5、油（包括蒸汽）≤ 0.1mg/

4.2、氣路接頭管徑

4.2.1、高壓氣源氣管：12號管